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第120章:干法蚀刻

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人们就是使用这种技术。到如今当然已经不适用了。

    得到了化学蚀刻出现问题之后,沈丹青非常重视,他立刻召集了相关科研单位商讨对策。

    说实话,他们是第一次见到这个问题。用化学方法蚀刻这么微小的图形,本来就很神奇。现在却说这种方法不行,要另想办法。这可真的难住他们了,他们一时也没有了好办法。最后还是沈丹青记起了前世的一些书上讲过,蚀刻分为湿法蚀刻和干法蚀刻。因此对他们说:“试试干法蚀刻,或许要好许多。”

    “老板,什么是干法蚀刻?你能祥细的告诉我们吗?”化学研究所的所长王波就站出来问他。没办法谁让化学蚀刻技术是化学研究所的主要责任呢?

    “先声明啊!我不懂具体原理。我只知道在一定的气压压力下,电浆离子与氧化硅或铜起反应或高速撞击,使之同样气态电离化,然后用抽气机抽走。又进行同样的步骤,直至蚀刻出我们需要的图形。这种方法能减少侵蚀,得到比较陡边的图形。应该来说会比湿法蚀刻好得多,也精密得多。不管怎么样!大家先试试看吧!”沈丹青将他所知道的只言片语讲了出来,具体的技术和方法就要他们去研究了。

    “老板,具体点,是哪几种电浆,你知道吗?”王波以希翼的语气问他。他自己也知道老板可能不知道,所以才用这样的语气请问他。

    “我怎么知道?我又不是科学家,我只不过是看到书上提到了几句,具体的原理和方法,还要你们自己去实验,我是帮不了的。”果然不出王波所料,老板不知道。而且他还讲的理直气壮,也不知道他是从哪本书上看到的。要知道他们这些专业的科学家都不知道,也真是怪了。老板经常神神秘秘的,好多的先进技术,都是从他的嘴里讲出来的,虽然只有皮毛,但是起码有了方向,不再是一无所知。

    “大家听我说,刚才老板己经为我们指明了方向,我们就以这个方向为突破口。我刚才大体考虑了一下,觉得非常可行。许多技术,我们在研制离子注入机的时候己经掌握了。这种新方法,无非是在离子注入机技术的基础上加上了化学反应。而未知的游离电浆,我也有了初步的预判。我们只研究与氧化硅和铜起反应的两种电浆。其它的蚀刻,还是釆用湿法蚀刻,不会影响成品率。那么这两种电浆就是我们化学研究所的任务了。其它的机体部分,还是和离子注入机差不多。我们先试着干吧!……”

    王波主动的站出来发言,话还没讲完,就被沈丹青打断了:“很好,刚才王所长的讲话非常有见地。我现在任命王所长为这次干法蚀刻设备研发的事业部部长。其他人都要听从他的指挥,他还可以从整个公司调配人力和资源。为了提高你们的急极性,我提早告诉你们一个好消息。”

    沈丹青的话没讲完,在场的人的心思就纷纷蠢蠢欲动了。老板嘴里说出的好消息,那一定错不了。

    大家的举动,沈丹青都看在眼里。他不仅没有气恼大家打断他的话,反而非常高兴的接着说:“只要这套芯片生产设备,研发成功。具备一定的精确度和良品率,我们就会去长沙设立第一家芯片制造工厂。工厂正式投产之后,所有参与研发芯片制造设备的工作人员,你们的欠款,全部一笔勾销。怎么样?这个奖励大家满意吗?”

    整个会场,一时失声。大家都太震惊了,不敢想象老板既然能给这么重的奖励。要知道,参与研发人员,至少都是工程师级别的技术员。级别高了,他们欠公司的钱也就更多,少的也欠了上百万,多的欠了几百万,比如各研究所的所长。这次奖励,比他们这几年工作所得的工资和奖金还要多,能不让他们兴奋吗?“哦!”会场响起了一片欢呼声,老板的奖励太给力了,他们一时控制不住自已兴奋的情绪,没有任何人例外。

    沈丹青看着会场上的人员的反应,满意地点了点头,他要的就是这种效果,只有不断激励大家,他们才能给他更大的回报。这点钱算什么,后世纳米级别的芯片制造设备,没有几十亿你想都别想,单位还是美金。中国人想买,他们还不会卖给你。现在长胜集团自已研发了全套技术,先不管先进与否,只要有了,以后就可以不断改进。能与欧美并驾齐驱,这种感觉就像毒品一样,令沈丹青深深的迷醉。

    ……
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